濕度傳感器的特性參數主要有：濕度量程、靈敏度、溫度系數、響應時間、濕滯回差、感濕特征量-相對濕度特性曲線等。 

　　(1) 濕度量程：它是指濕度傳感器能夠較精確測量的環境濕度的最大范圍。由于各種濕度傳感器所使用的材料及依據的工作原理不同，其特性并不都能適用于0～100%RH的整個相對濕度范圍。
　　(2) 感濕特征量-相對濕度特性曲線： 濕度傳感器的輸出變量稱為其感濕特征量， 如電阻、電容等。 濕度傳感器的感濕特征量隨環境濕度的變化曲線， 稱為傳感器的感濕特征量-環境濕度特性曲線， 簡稱為感濕特性曲線。 性能良好的濕度敏感器件的感濕特性曲線， 應有寬的線性范圍和適中的靈敏度。
　　(3) 靈敏度：濕度傳感器的靈敏度即其感濕特性曲線的斜率。大多數濕度敏感器件的感濕特性曲線是非線性的， 因此尚無統一的表示方法。 較普遍采用的方法是用器件在不同環境濕度下的感濕特征量之比來表示。
　　(4) 濕度溫度系數： 它定義為在器件感濕特征量恒定的條件下，該感濕特征量值所表示的環境相對濕度隨環境溫度的變化率， 即

　　因此，環境溫度將造成測濕誤差。 例如，α=0.3％RH/℃時， 環境的溫度變化20℃，將引起6％RH的測濕誤差。

　　(5) 響應時間： 它表示當環境濕度發生變化時， 傳感器完成吸濕或脫濕以及動態平衡過程所需時間的特性參數。 響應時間用時間常數τ來定義， 即感濕特征量由起始值變化到終止值的0.632倍所需的時間。可見， 響應時間是與環境相對濕度的起、止值密切相關。
　　(6) 濕滯回線和濕滯回差：一個濕度傳感器在吸濕和脫濕兩種情況下的感濕特性曲線不相重復，一般可形成為一回線，這種特性稱為濕滯特性； 其曲線稱為濕滯回線。

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